气体传感器保管制备和事情温度高，与硅基工艺不兼容等题目，范围了其在高密度集成物联网生态体系中的利用。

　　胶体量子点动作一种半导体纳米晶，拥有怪异的高外表活性和量子范围效力的去世特征，具有室温溶液处置的才能，更轻易与硅基兼容。但跟着硅基板尺寸逐步减少，对敏锐膜堆积的精度和工艺要求开端变高，今朝经常使用于气体传感器的成膜手艺包罗溅射、高温化学气相堆积（CVD）、滴涂、旋涂、丝网印刷等。因为采取溅射法在真空情况下易构成不精致多孔构造薄膜，高温CVD法对质料的采取保管节制性，滴涂法的成膜尺寸与百微米级硅基板不婚配，丝网印刷因为应力题目会粉碎硅基板构造，是以须要开辟一种低失配、高温、高精度的胶体量子点薄膜堆积工艺，来兑现气体传感器的芯片化。

　　据麦姆斯征询报导，针对保守成膜工艺没法实此刻百微米级而且构造悬空的MEMS基板上制备气敏薄膜的题目，华中科技大学刘欢传授团队使用电流体能源学（EHD）喷印手艺联合氧化钨（WO3）胶体量子点停止气敏薄膜的无掩模堆积，在MEMS微热板上制备出平均精致的敏锐薄膜双赢彩票官方网站，兑现了高机能微型气体传感器的制备。相干研讨功效已宣布于《微纳电子手艺》期刊。

　　EHD喷印是最近几年来产生的一种新式增材成立手艺，首要是鉴于外加电场引诱流体产糊口动，致使墨滴的拉伸和分裂，构成小于喷嘴直径数目级的高分辩率图形，是以也许对宽粘度规模的质料和低维纳米颗粒停止喷印。

　　思索到EHD喷印进程遭到诸多力的浸染，研讨职员采取了表面与尝试联合的体例，停止锥射流不变性浸染身分剖析，并探讨了电压、外表张力和粘性力对喷印的浸染，从而制备出契合要求的气敏墨水。研讨职员使用WCl6动作钨源，乙醇动作氧源，油酸（OA）和油胺（OLA）无机物动作长链配体，在加热前提下告终WO3胶体纳米晶的成核与发展进程，利用高分辩率透射电子显微镜（therapyEM）察看分解的WO3胶体纳米晶，如图1所示。采取能斯达电子MEMS微热板动作气体传感器基板，目的是在该地区上堆积半径100 μm的敏锐膜，器件如图2所示。图3显现了使用EHD喷印手艺在MEMS微热板上喷印WO3量子点的进程，使用EHD喷印方式喷印的液滴精确地堆积在叉指电极上，恰好笼盖在全部传感地区双赢彩票官方网站，由膜描摹可知其拥有杰出的平均性。

　　研讨职员将该MEMS气体传感器封装后停止气敏机能尝试，尝试后果解释，使用EHD喷印方式制备的WO3气体传感器的薄膜精致平均，在150℃下功耗仅20 mW，对体积分数5 × 10⁻⁶的NO2的推戴值约为10双赢彩票官网，能兑现体积分数5 × 10⁻⁷ ~ 1 × 10⁻⁵的NO2检测，检测底限低至1.6 × 10⁻⁷，拥有优良的气敏机能。

　　综上所述，这项研讨事情使用EHD喷印手艺乐成地在MEMS器件上兑现了机能优良的无掩膜堆积WO3胶体量子点。与保守的质料制备方式如滴涂、溅射、静电纺丝等比拟，EHD喷印方式复杂，而且能顺应尺寸逐步减少的气体传感器基板，同时无望实此刻传感器阵列上集成多种胶体量子点气敏质料，进而鞭策传感器向集成化、智能化成长，更好天时用于物联网、转移末端等。